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Verfahren:
Die PLASTIT® Beschichtungen werden in einer Heißwandvakuumanlage mit präziser Temperaturführung produziert. Die Ausgangsgase Stickstoff, Wasserstoff, Argon, Methan sowie TiCl4, BCl3, AlCl3 werden definiert in die Anlage eingebracht und dort durch eine gepulste Glimmentladung aktiviert. Diese Glimmentladung wird mittels RÜBIG® MICROPULS® Plasmageneratoren erzeugt. Die durch verschiedene physikalische und chemische Vorgänge im Plasma (Anregung, Ionisation, Dissoziation und Rekombination) erzeugten überwiegend positiv geladenen Molekülfragmente (Ti+, N+, usw..) scheiden sich bevorzugt an den auf negativem Potential liegenden Werkstücken ab.
Vergleich zu anderen Beschichtungsverfahren:
Die durch das Plasma bedingten chemischen Reaktionen würden ohne Plasma erst bei 800 – 1000°C ablaufen. Im Plasma sind diese aber bereits ab 480°C möglich, wodurch sich ein entscheidender Vorteil gegenüber der herkömmlichen Methode zur Hartstoffbeschichtung mittels CVD (Chemical Vapour Deposition) Verfahren bei 1000°C ergibt. Diese niedrige Temperatur ermöglicht außerdem die Abscheidung von Multilayern mit sehr dünnen Einzellagen, da es zu einer geringeren Durchmischung der unterschiedlichen Gase beim Übergang zwischen den verschiedene Schichten kommt. Außerdem bleibt für eine Vielzahl von Stählen bei Beschichtungstemperaturen um 500°C die Grundhärte erhalten und es ist kein Nachhärten wie beim CVD notwendig.
Da PLASTIT® Schichten generell eine äußerst feine Kristallstruktur aufweisen, sind sie den wesentlich gröber strukturierten PVD (Physical Vapour Deposition) Schichten in Duktilität und in der Unterdrückung von Rissausbreitung überlegen. Außerdem ist PVD gegenüber dem PLASTIT® Verfahren ein „line-of-sight” Prozess, bei dem nur mit hohem Aufwand (Rotation der Werkstücke) eine homogene Beschichtung erreicht wird. Anlagentechnisch ist das PLASTIT® Verfahren auch einfacher, da die Prozessdrücke wesentlich höher als beim PVD Verfahren (einige Pa und niedriger) und somit besser beherrschbar sind.
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Nitrieranlagen
