Plasma Générateur

Les gaz de processus (en général, l'hydrogène, l'azote, l'argon ou le méthane) se transforment en un gaz conducteur ionisé avec succès dès qu’une valeur de tension est dépassée et que le plasma est « allumé », c'est-à-dire qu'il se produit une décharge luminescente. Dans ce processus, le générateur remplit les fonctions d'un convertisseur de tension, également appelé onduleur. Cela signifie qu'il convertit une tension alternative triphasée ordinaire de 400 VCA, c'est-à-dire une force motrice ou un courant triphasé, en une tension continue pulsée, isolée galvaniquement et à onde carrée. Seule cette tension de sortie pulsée, combinée à une plage de pression de l'ordre du millibar à deux chiffres maximum, permet l'allumage du plasma.

La tension, le courant et la fréquence sont réglables de façon variable dans les limites suivantes:

L’installation peut fonctionner soit en mode commandé par la tension (réglage du courant), soit en mode commandé par le courant (réglage de la tension). La résistance est définie sur la base du mélange de gaz, de la pression, de la température et de la distance entre les composants chargés et la paroi anodique. Ainsi, selon la loi d'Ohm, la variable correspondante se régule. Dans le set de base, il est également possible de choisir entre un fonctionnement mono-impulsion (monopulse), bipolaire ou en courant continu (CC) pur dans chaque module. La sortie peut également être inversée, ce qui signifie que la polarité peut être réglée positivement ou négativement, selon les spécifications. Comme la durée de l'impulsion et la pause peuvent être contrôlées individuellement en fonctionnement mono-impulsion et bipolaire, le débit de plasma peut également être déterminé de manière ciblée. Les générateurs de plasma RÜBIG garantissent ainsi la plus grande flexibilité de processus possible. Ces paramètres sont définis dans la visualisation. Dans cette zone, ou dans la zone système Fonction Arc, vous pouvez également définir les valeurs limites pour la gestion de l'arc. Un arc est une décharge entre le pôle à charge positive (anode) et celui à charge négative (cathode), c’est-à-dire un éclair dans le nuage de plasma. Seule une détection la plus rapide possible d’un arc permettra d’éviter d'endommager la charge. À cet égard, les générateurs RÜBIG offrent des mécanismes de sécurité qui dépassent les normes industrielles courantes. Le système intégré de détection d'arc contrôle constamment le courant et s'arrête dans une plage en nanoseconde à trois chiffres (généralement moins de 300 ns) si l’arc devait se propager trop vers le haut. Un protocole détaillé de l'enregistrement du processus permet d'analyser avec précision les défaillances et d'ajuster ensuite en conséquence le processus.