Um den Ort eines Lecks zu bestimmen, muss eine Leckprüfung durchgeführt werden. Dabei wird die Anlage in einem ersten Schritt bis auf 0,10 mbar evakuiert. Wenn 0,10 mbar erreicht sind, schließt das Druckregelventil automatisch und der Druckanstieg wird gemessen (ausgedrückt in mbar*l/sec). Eine aussagekräftige Dichtheitsprüfung sollte mindestens 2 Stunden lang laufen. Eine schlechte Leckrate deutet jedoch nicht unbedingt auf ein undichte Stelle hin. Verunreinigungen, Schmiermittel auf der Charge, Feuchtigkeit im System (z. B. durch übermäßige Oxidation) usw. können ebenfalls Gründe sein. Diese Verunreinigungen können Gase in das Vakuum verdampfen, wodurch der Druck im System ansteigt. Ein Reinigungsvorgang wirkt oft Wunder. Stromausfälle hingegen sind nicht unbedingt häufige Störungsursachen. Bei einem Stromausfall steht die Anlage sofort still, und sobald der Strom wieder da ist, nimmt die Anlage den Prozess dort wieder auf, wo sie unterbrochen wurde. Zusammenfassend lässt sich sagen, dass eine regelmäßige Wartung Ihrer Anlage Zeit, Geld und Nerven spart. Sie reduziert Störungen auf ein Minimum und kann Anlagenstillstände ganz verhindern.
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