Plazmové generátory RÜBIG
Plazmový generátor od spoločnosti RÜBIG je srdcom každého zariadenia rady RÜBIG MICROPULS® a, ako naznačuje názov, generuje plazmu. Okrem pevného, kvapalného a plynného skupenstva poznáme plazmu, ktorá sa zvyčajne označuje za štvrté skupenstvo, a vzniká pridaním veľmi veľkého množstva energie do plynu. To sa dá dosiahnuť buď teplom, žiarením, alebo ako v prípade generátora od spoločnosti RÜBIG elektrickým napätím. Stena prijímača slúži ako anóda; komponenty ako katóda. Elektróny sa zrazia s (procesnými) molekulami plynu na svojej ceste z katódy do anódy. Táto zrážka rozbije molekuly plynu a katapultuje elektróny z plášťa. Zatiaľ čo tieto opakovane kolidujú s inými molekulami plynu a proces štiepenia sa opakuje, zvyšné molekuly ionizovaného plynu migrujú smerom k zložke a iniciujú proces rozprašovania.
 |
 |
Z procesných plynov (zvyčajne vodík, dusík, argón alebo metán) sa stáva úspešne ionizovaný vodivý plyn, akonáhle dôjde k prekročeniu hodnoty napätia a k vznieteniu plazmy, čiže inak povedané k tlejivému výboju. Generátor pritom vykonáva funkcie meniča napätia, známeho tiež ako invertor. To znamená, že prevádza bežné 400 V AC trojfázové striedavé napätie, t.j. silnoprúd alebo trojfázový prúd, na galvanicky oddelené jednosmerné pulzné priame napätie. Iba toto impulzné výstupné napätie v kombinácii s tlakovým rozsahom v maximálnom dvojcifernom rozsahu milibarov umožňuje vznietenie plazmy.
Napätie, prúd a frekvenciu je možné variabilne upraviť v rámci nasledujúceho rozsahu:
| Napätie | 0 - 700 V |
| Prúd | 0 - 300 A |
| Frekvancia | 125 Hz - 20 kHz |
Tento generátor je možné použiť buď v napäťovo riadenom režime (reguluje sa prúd) alebo prúdovo riadenom režime (reguluje sa napätie). Odpor sa definuje na základe zmesi plynov, tlaku, teploty a vzdialenosti medzi nabitými komponentmi a stenou anódy. Príslušné premenné sa teda stabilizujú podľa Ohmovho zákona. V základnom balíku si môžete v každom module tiež vybrať medzi monopulznou, bipolárnou prevádzkou alebo čistým jednosmerným prúdom (DC). Polaritu výstupu je možné tiež obrátiť, to znamená, že polaritu je možné nastaviť na kladnú alebo zápornú v závislosti od špecifikácie. Pretože dĺžku a pauzu impulzu je možné ovládať jednotlivo ako v monopulznej, tak aj v bipolárnej prevádzke, možno cielene určiť výkon plazmy. Plazmové generátory od spoločnosti RÜBIG tak zaručujú najvyššiu možnú flexibilitu procesu. Tieto parametre sa definujú vo vizualizácii. Vo vizualizácii alebo vo funkcii nastavenia elektrického oblúka (Arc Function) možno nastaviť aj limitné hodnoty pre správu elektrického oblúka. Oblúk (anglicky arc) je výboj medzi kladne nabitým pólom (anódou) a záporne nabitým pólom (katódou), t.j. blesk v plazmovom oblaku. Len vďaka najrýchlejšej možnej detekcii oblúka sa dá vyhnúť poškodeniu dávky. Z tohto hľadiska majú generátory od spoločnosti RÜBIG bezpečnostné mechanizmy, ktoré prekračujú súčasné priemyselné štandardy. Integrovaný systém detekcie oblúka (Arc Detection System) nepretržite riadi prúd a vypína ho v rozmedzí trojmiestnej hodnoty nanosekúnd (zvyčajne pod 300 ns), ak oblúk vystúpi príliš nahor. Podrobný protokol zaznamenávania procesu umožňuje presnú analýzu chýb a následné zodpovedajúce detailné nastavenie procesu.
Oblasti použitia
Plazmové generátory od spoločnosti RÜBIG sa okrem svojej spoľahlivosti a energeticky efektívnej výkonnosti vyznačujú aj svojou modularitou. Vďaka svojmu kompaktnému dizajnu ich možno rýchlo integrovať do existujúcich výrobných liniek. Neskoršie inovácie tiež nie sú problémom.
Plazmové generátory od spoločnosti RÜBIG nájdu uplatnenie najmä v nasledujúcich oblastiach:
- Plazmová nitridácia (s následnou oxidáciou alebo bez nej)
- DLC povlaky
- PVD povlaky
- Nauhličovanie v plazme
- Magnetrónové rozprašovanie
- Plazmové jemné čistenie a sterilizácia
- Leptanie plazmou
- Predbežná úprava plastov (čistenie plazmou, aktivácia plazmou)
- Povrchová úprava nevodivých materiálov pomocou striedavého pulzného chodu
- Dodatočné vybavenie existujúcich nitridačných a náterových systémov (tiež od iných výrobcov)
 |
