Der RÜBIG Plasmainverter ist das Herzstück jeder Anlage der RÜBIG MICROPULS® Serie.
Plasma ist – neben fest, flüssig und gasförmig – der vierte Aggregatzustand. Er entsteht, indem man einem Gas sehr große Mengen Energie zuführt. Dies kann durch Hitze, Strahlung oder durch elektrische Spannung erreicht werden. Letzteres ist beim RÜBIG Generator der Fall.
Ein Plasmagenerator wird benötigt, um Prozesse wie PLASNIT®, PLASNIT® C oder PLASOX® umzusetzen. Erfahren Sie mehr über die Funktionsweise unseres Plasmagenerators der RÜBIG Anlagentechnik!
PLASMAZÜNDUNG
Die Transformation der Prozessgase durch den Inverter-Generator
Die Prozessgase (meist Wasserstoff, Stickstoff, Argon oder Methan) werden zu einem ionisierten, leitfähigen Gas, sobald ein Spannungswert überschritten wird und es zur Zündung des Plasmas (Glimmentladung) kommt. Der Generator fungiert dabei als Spannungsumformer (Inverter) und wandelt Kraft- oder Drehstrom in galvanisch getrennte, rechteckförmig gepulste Gleichspannung um. Erst diese gepulste Ausgangsspannung, kombiniert mit einem Druckbereich im maximal zweistelligen Millibar-Bereich, ermöglicht eine Plasmazündung.
MAXIMALE PROZESSFLEXIBILITÄT
Betriebsmodi und Einstellungsmöglichkeiten des RÜBIG Plasmagenerators
Die Anlage kann entweder in spannungsgeregeltem oder stromgeregeltem Modus betrieben werden. Im Basispaket kann darüber hinaus in jedem Modul zwischen Monopuls, bipolarem Betrieb oder reinem DC (Gleichstrom) gewählt werden. Auch der Ausgang kann umgepolt werden, d. h. je nach Spezifikation positiv oder negativ eingestellt werden. Da sowohl im Monopuls- als auch im bipolaren Betrieb Pulslänge und -pause individuell steuerbar sind, kann auch die Plasmaleistung gezielt festgelegt werden. Somit garantieren RÜBIG Plasmageneratoren größtmögliche Prozessflexibilität.
HÖCHSTE SICHERHEITSSTANDARDS
Das integrierte Arc Detection System in Aktion
Die Sicherheitsmechanismen übertreffen vielfach gängige Industriestandards. Das integrierte Arc Detection System kontrolliert den Strom unentwegt und schaltet in der Regel in weniger als 300 Nanosekunden ab, sollten durch einen sogenannten Bogen (Blitz in der Plasmawolke) Schäden an der Charge drohen. Ein detailliertes Protokoll ermöglicht eine exakte Fehleranalyse und entsprechende Feinjustierung des Prozesses.
Interesse geweckt?
Wir beraten Sie sehr gerne persönlich. Kontaktieren Sie uns und erhalten Sie eine detailierte Auskunft über die von Ihnen gewünschte RÜBIG-Anlage!
Plasmagenerator
ANWENDUNGSBEREICHE
RÜBIG Generatoren zeichnen sich neben ihrer zuverlässigen, energieeffizienten Leistung auch durch ihre Modularität aus. Durch ihr kompaktes Design können sie rasch in bestehende Fertigungslinien integriert werden. Auch Upgrades zu einem späteren Zeitpunkt stellen kein Problem dar.
Einsatzgebiete für den RÜBIG Plasmagenerator sind vor allem:
- Plasmanitrieren (mit oder ohne anschließende Oxidation)
- DLC-Beschichten
- PVD-Beschichten
- Plasma-Aufkohlen
- Magnetron-Sputtern
- Plasma-Feinreinigung und -Sterilisation
- Plasma-Ätzen
- Vorbehandlung von Kunststoffen (Plasmareinigung, -aktivierung)
- Oberflächenbehandlung von nicht-leitenden Materialien durch Wechselpulsbetrieb
- Nachrüstung von bestehenden Nitrier- und Beschichtungsanlagen (auch anderer Hersteller)
