Absolute Priorität bei RÜBIG ist die ständige Weiterentwicklung, um immer am neuesten Stand der Technik zu sein. Zu diesem Zweck ist die Bündelung von Kompetenzen hervorragend geeignet um die Nase vorne zu haben. Mit Norbert Lang, Ibrahim Sadiek und Uwe Macherius vom INP in Greifswald, sowie Stefan Matern von Menlo Systems GmbH haben wir die perfekten Partner gefunden um eine Messkampagne im Rahmen des Projekts InPro-F (Innovatives Plasmanitrieren durch dynamische Prozesskontrolle mittels optischer Frequenzkämme) durchzuführen. Mittels Laser werden im Plasma erzeugte Spezies gemessen und analysiert.
Innovatives Plasmanitrieren durch dynamische Prozesskontrolle mittels optischer Frequenzkämme
Details zum Forschungsprojekt
Die Laserabsorptionsspektroskopie im infraroten Spektralbereich ist eine geeignete Methode zur optischen Prozesskontrolle im Plasmanitrieren. Konventionelle Spektroskopiesysteme wären für den Einsatz in der industriellen Plasmanitrierung zu komplex und zu teuer, da viele Laserquellen erforderlich wären um die prozessrelevanten Gas- und Molekülkonzentrationen auszumessen. Mit Hilfe eines optischen Frequenzkammes, der viele tausende Laser ersetzt, können dagegen simultan Konzentrationen dieser Spezies erfasst und einer Prozesssteuerung bereitgestellt werden.
Die Bedingungen in der industriellen Plasmanitrierung stellen jedoch hohe Anforderungen unter anderem an Kompaktheit, Robustheit und Auflösungsvermögen. Hierfür erforderliche neue Techniken und innovative Komponenten eines frequenzkammbasierten Spektroskopiesystems sollen im Rahmen des Verbundprojektes InPro-F entwickelt werden. Im Verbundprojekt werden die KMU Menlo Systems GmbH und neoplas control GmbH die nötigen Entwicklungen zusammen mit dem Leibniz-Institut für Plasmaforschung und Technologie e. V. als akademischem Partner durchführen.
Die Firma RÜBIG GmbH & Co. KG formuliert als führender Hersteller für Nitrieranlagen die entsprechenden Anforderungen, begleitet die Entwicklungen und stellt dafür sowohl die industrielle Expertise als auch Nitrieranlagen für Entwicklungen, Tests und Verifikationen zur Verfügung. Das Projektziel ist ein Demonstrator eines in Prozessen des industriellen Plasmanitrierens einsetzbaren, kompakten und robusten Frequenzkammsystems, welcher eine in-situ Prozesskontrolle erlauben und damit das kommerzielle und ökologische Einsparpotenzial dieses Verfahrens zugänglich machen wird.
Für die KMU wird sich ein neuer Absatzmarkt mit langfristigem Wachstumspotential eröffnen, und der assoziierte Partner wird seine Marktführerschaft festigen können.